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멕시코 반도체 청정실 프로젝트

2026-04-03

클라이언트 배경

첨단 노드 칩 생산을 아웃소싱하는그들의 기존 청정실은 193nm 몰입 리토그래피에 대한 엄격한 진동과 공기 순수 요구 사항을 충족 할 수 없었습니다., 생산량 손실을 초래합니다.

필요 와 도전

·ISO 클래스 5 (클래스 100) 와이퍼 표면
·엄격한 온도 조절: 사진 리토그래피 방면 22 ± 0.1°C.
·짧은 다운타임: 1개월만 사용 가능

해결책

·미니 환경 설계: 팬 필터 유닛 (FFU) 과 AMC에 대한 화학 필터를 사용하여 스테퍼를 고립했습니다. 도구 껍질 내부에서 ISO 4를 달성했습니다.
·액티브 진동 격리: VC-D 기준을 충족시키기 위해 콘크리트 관성 블록 + 공기 격리 장치.
·높은 정확성 HVAC: 재열과 함께 두 개의 냉각 물 루프, 그리고 변동 공기 부피 (VAV) 단말기. ±0.08°C에서 측정된 온도 균일성.
·사전 제조판: 캠 잠금 관절을 가진 현장 외부에서 제조된 스테인리스 스틸판. 계획된 유지보수 종료 기간 동안 설치됩니다.

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고객 피드백

다른 청정실 업체보다 얀링은 우리의 도구 요구 사항을 더 잘 이해했습니다.
시설 관리자, 반도체 고객

요약

양닝은 청정실 공학 분야에서 전문입니다. 우리는 제조 효율성을 직접 향상시키는 깨끗한 생산 환경을 만드는 데 전념합니다.우리의 모듈형 솔루션은 제조업 분야에서 깨끗한 생산 구역에 이상적인 선택을 나타냅니다..

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